光焱科技CIS/ALS/光傳感器晶圓測試儀

簡要描述:SG-O 是一款 CIS /ALS / Light-Sensor 晶圓測試儀,它結合了高度均勻的光源和半自動晶圓探測器。高度均勻光源可以提供從 400nm 到 1700nm 的連續白光光譜,以及在許多不同波長下具有一定 FWHM 的單色光輸出。探測器可以處理。200mm 晶圓尺寸和尺寸大于 1cm x 1cm 的單芯片。SG-O 集成了超低噪音熱卡盤,可提供 -60°C 至 180°C 的溫度范圍

  • 產品型號:SG-O
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2023-10-02
  • 訪  問  量: 1119

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詳細介紹

品牌Enlitech

特色


高度均勻的光源

可編程自動探測器

寬溫低噪音卡盤

應用

  • CIS / ALS / 光傳感器晶圓測試

  • CIS / ALS / 光傳感器晶圓映射和良率檢查

  • ToF 傳感器測試

  • 激光雷達傳感器測試

  • InGaAs PD 測試

  • SPAD 傳感器測試

  • 光傳感器模擬參數測試:

    1. 量子效率

    2. 光譜響應

    3. 系統增益

    4. 靈敏度

    5. 動態范圍

    6. 暗電流/噪聲

    7. 信噪比

    8. 飽和容量

    9. 線性誤差(LE)

    10. DCNU(暗電流非均勻性)

    11. PRNU(光響應非均勻性)

系統設計

SG-O CIS / ALS / Light-Sensor 測試儀(晶圓級)系統圖。高度均勻的光源由 PC-1 控制。光輸出由光纖引導到光學均化器以產生均勻的光束。顯微鏡和均質器由 PC-1 的自動平移臺控制,以切換位置和功能。Prober 系統為 MPI TS2000,由 PC-2 控制??ūP臺的位置也由 PC-2 控制。熱卡盤溫度可控制在 -55 ℃ 至180 ℃ ,涵蓋了大部分 IC 測試溫度范圍。光強度由一個 Si 光電探測器和一個 InGaAs 光電探測器通過皮安電流表檢測和校準。

規格

SG-O 為您在 CIS / ALS / 光傳感器晶圓測試中需要的所有內容提供完整的規范。以下是主要組件及其詳細信息。如果您需要更多詳細信息,請隨時與我們聯系!

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高度均勻的光源
  1. 10nm FWHM 中心波長:420nm, 450nm, 490nm, 510nm, 550nm, 570nm, 620nm, 670nm, 680nm, 710nm, 780nm, 870nm

  2. 25nm FWHM 中心波長:1010nm, 1250nm, 1450nm

  3. 45±5nm FWHM 中心波長 815nm

  4. 50nm FWHM 的中心波長:1600nm

  5. 60±5nm FWHM 中心波長:650nm

  6. 70±5nm FWHM 的中心波長:485nm, 555nm

  7. 100±5nm FWHM 的中心波長:1600nm

    • 帶外透光率 ≤ 0.01%

    • 帶通區峰值傳輸 ≥ 80%

    • 中心波長容差:(a) ≤ ±2nm;(b)~(g) ≤ ±5nm

    • FWHM 容差:(a) ≤ ±2nm;(b)~(g) ≤ ±5nm

半自動晶圓探針

光譜輻照度計

更多規格

  SG-O 集成了 Enlitech 的高級光模擬器技術和 MPI 自動探針系統。Enlitech 提供多種光學選項以滿足用戶對 CIS / ALS / 光傳感器晶圓測試的要求,包括波長范圍、光強度和均勻光束尺寸。我們擁有數十年的經驗,可以幫助客戶解決 CIS / ALS / 光傳感器晶圓測試和設計變化的挑戰。請隨時與我們聯系以獲取更多詳細信息。我們的專業團隊將為您提供幫助!


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主要表現

SG-O 系統的操作軟件。對于高度均勻光源控制軟件,SG-O 提供光源系統控制和光強測量。提供了各個光學組件的 Labview 功能調色板、驅動程序 / DLL 文件。該軟件控制所述平移臺以促進照射大是在零件的設備。集成鏈接的整合包括發送 / 接收命令,例如芯片步進、芯片對齊 / 探測等。

來自 SG-O 顯微鏡系統的  CIS / ALS / 光傳感器芯片圖像

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SG-O-CIS-wafer-level-tester-23_-wafer-and-probe-card.jpg


CIS / ALS / Light-Sensor 晶圓的探針卡安裝圖

用于 CIS / ALS / 光傳感器晶圓檢測的探針頭圖像


SG-O CIS 晶圓級測試儀的光均化器

SG-O CIS 晶圓級測試儀光均化器的光學模擬和性能

光束均勻度,在 420nm 下用 42mm x 25mm 測試光束點均勻性,不均勻度為 1% 圖示

光束均勻度,束斑尺寸為 50mm x 50mm,不均勻性為 1.43% 圖示

不同波長的單色光強度,從紫外到近紅外;光強度由Si輻照度計測量,光強度范圍能夠用于各種 CIS / ALS / 光傳感器測試圖示

從 NIR 到 SWIR 不同波長的單色光強度,光強度由 InGaAs 輻照度計測量圖示

SG-O 的高度均勻光源具有一個超穩定的光引擎,在整個波長范圍內,短期或長期的光強不穩定性均優于 0.2%。

圖示在 420nm 單色光輸出下測試光強度短期不穩定性,光不穩定性由 Si 輻照度計監測 60 分鐘,1 小時的不穩定性為 0.12%

圖示在 1250nm 單色光輸出下測試光強短期不穩定性, 光不穩定性由 SInGaAs 輻照度計監測 60 分鐘,1 小時的不穩定性為 0.09%

在 420nm 單色光輸出下測試光強度短期不穩定性,光不穩定性由 Si 輻照度計監測 10 小時,10 小時的不穩定性為 0.1% 圖示

在 1250nm 單色光輸出下測試光強短期不穩定性,光不穩定性由 SInGaAs 輻照度計監測 10 小時,10 小時不穩定性為 0.06% 圖示


圖示為 SG-O 系統的光強衰減器,光輸出強度可以通過 PC 至少 1000 步分辨率來控制

自動探測器的情況說明書,SG-O CIS / ALS / Light-Sensor 晶圓測試儀集成了 MPI 探針,更多細節可以在 MPI 的網站上找到

數據源: MPI


SG-O 探針系統中內置了自動單芯片裝載機。便于CIS / ALS / Light-Sensor 晶圓裝載。裝載和卸除晶圓對用戶來說是直接和直觀的。上料室前部還集成了溫度控制面板,方便操作。

SG-O CIS / ALS / Light-Sensor 晶圓測試儀還具有手動加載功能,可以從前門手動加載晶圓。該前門具有安全管理功能,可自動監測卡盤溫度并防止在測試過程中打開門,以保護 CIS / ALS / Light-Sensor 晶圓和用戶的安全。

SG-O CIS / ALS / Light-Sensor 晶圓測試儀的熱卡盤由 ERS 最小化的 CDA 系統控制溫度,比以前效率更高。溫度范圍可覆蓋 -80°C 至 180°C(取決于 ERA’a型號)。通過使用單獨的閥門可以進行氮氣吹掃。對于 CIS / ALS / 光傳感器晶圓測試,目標溫度上升速率和穩定性非常出色,可在任何







條件下(例如空間)進行。


探針卡尺寸能力可以從 4.5 英寸到 8 英寸長,如圖所示 DUT 與 SG-O 高均勻光源最后一個光學組件的工作距離超過 200mm

探針卡尺寸能力可以從 4.5 英寸到 8 英寸長,如圖所示 DUT 與 SG-O 高均勻光源最后一個光學組件的工作距離超過 200mm



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